材料沉积喷墨打印及
涂层系统解决方案
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产品说明 MicroFab 喷头安装机构
PH-05a按需滴落式打印头设计用于在温度达240°C的情况下分配对氧气和/或水敏感的材料。集成的加热惰性气体注入用于在分配设备的孔口和飞行中的液滴周围创建局部惰性环境。
PH-05a使用与PH-04a Polymer Jet打印头相同的可互换高温分配设备MJ-SF。已经分配了从5pL到0.5nL的液滴体积。使用MicroFab的驱动波形，不用更改分配装置即可获得的液滴体积范围可以是系数3或还要好。
详细资料请点击链接：
PH-05a产品资料.pdf
工作操作温度到240℃
容量为30mL的不锈钢储液罐
储液罐和喷头有单独的加热器，允许不同的操作温度
与Jetlab 4XL，Jetlab 4XL-A和Jetlab II系列兼容
MJ-SF设备的孔径为10-80µm。
▲ 8" 晶圆上方的喷头和瞄准的显微镜 在150°C以上的温度下运行，对于压电系统通常被认为是不可行的。但是，MicroFab已开发出在240°C的温度下长期持续运行压电需求模式喷墨设备的能力，在320°C的温度下持续数天，并在370°C的温度下短暂运行。设备构造和运行期间使用的驱动波形对于此功能都至关重要。在高温下操作允许使用需求模式喷墨技术分配高粘度聚合物、焊料和其他材料。上图显示了一个设计用于在370°C下运行的喷头，安装在一个系统上，该系统专为沉积在硅和砷化镓晶片上而设计。该系统能够将惰性气体注入喷射装置周围并注入正在打印的局部区域。[1] [1] Wallace D B , Hayes D J . Micro-Printing System for MEMS Packaging Using Nano-Structured Materials[J]. Nanoengineering World Forum, 2003. _______________________________________________________________________________________________________________________ 咨询邮箱：service@rd-mv.com，电话：+86-21-51816109。感谢您的关注，期盼与您合作并探索更多可能。 |
