材料沉积喷墨打印及
涂层系统解决方案

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PH-05a

    产品说明 MicroFab 喷头安装机构


    PH-05a按需滴落式打印头设计用于在温度高达240°C的情况下分配对氧气和/或水敏感的材料。集成的加热惰性气体注入用于在分配设备的孔口和飞行中的液滴周围创建局部惰性环境。

    PH-05a使用与PH-04a Polymer Jet™打印头相同的可互换高温分配设备MJ-SF。已经分配了从5pL到最高0.5nL的液滴体积。使用MicroFab的专利驱动波形,无需更改分配装置即可获得的液滴体积范围可以是系数3或更好。


    详细资料请点击链接:PH-05a产品资料.pdf


    点击此处查看相关微液滴发生系统 |

    • 标准功能
    • 可用选项
    • 详细信息
    • 应用

                                                                                          工作操作温度至240℃

                                                                                          容量为30mL的不锈钢储液罐

                                                                                          储液罐和喷头有单独的加热器,允许不同的操作温度

                                                                                          与Jetlab®4XL,Jetlab®4XL-A和Jetlab®II系列兼容


                                                                                          MJ-SF设备的孔径为10-80µm。

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    ▲ 8" 晶圆上方的喷头和瞄准的显微镜


    在150°C以上的温度下运行,对于压电系统通常被认为是不可行的。但是,MicroFab已开发出在高达240°C的温度下无限期运行压电需求模式喷墨设备的能力,在高达320°C的温度下持续数天,并在高达370°C的温度下短暂运行。设备构造和运行期间使用的驱动波形对于此功能都至关重要。在高温下操作允许使用需求模式喷墨技术分配高粘度聚合物、焊料和其他材料。上图显示了一个设计用于在高达370°C下运行的喷头,安装在一个系统上,该系统专为沉积在硅和砷化镓晶片上而设计。该系统能够将惰性气体注入喷射装置周围并注入正在打印的局部区域。[1] 


    [1] Wallace D B ,  Hayes D J . Micro-Printing System for MEMS Packaging Using Nano-Structured Materials[J]. Nanoengineering World Forum, 2003.

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